無塵潔淨室技術應用

發布日期：2015-03-12 作者：點擊：

無塵潔淨室的氣流速度/換氣次數，一直是潔淨室設計中受到關注的問題，随着潔淨室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關規範、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少讨論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，随着FFU的不斷改進，對是否采用FFU回風系統也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來，受到關注。以下對這些問題的情況分别作歸納和分析。

無塵潔淨室内一定潔淨度下氣流速度的确定，随潔淨室用途等具體情況而異，它不僅受室内發塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業潔淨室而言，影響潔淨度及選擇氣流速度的因素主要是：

(1)室内污染源：建築物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大;

(2)室内氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的幹擾形成局部渦(wō)流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

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